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等离子设备分类：等离子设备的分类： ① Jet AP等离子加工机系列(2)自动X/Y轴AP等离子处理系统③ 真空等离子装置系列⑤ AP宽幅等离子加工机系列④ 大气辉光等离子清洗机系列真空等离子设备/常压等离子处理设备又称低温等离子处理设备、等离子处理设备、等离子处理设备、低温等离子表面处理设备、等离子处理设备、等离子处理设备、等离子清洗机、等离子处理机。是一个标题。
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因此磁性存储器的等离子清洗机等离子体蚀刻面临的挑战有: ①传统反应等离子体(RIE)面临金属蚀刻副产物的非挥发性问题； ②超薄单层材料堆叠的结构对蚀刻选择比和方向性的要求极高； ③金属蚀刻常用的卤素气体极易腐蚀超薄的金属材料层.尤其是隧道势垒多为金属氧化物，在垂直磁隧道结中的厚度多小于3nm，极易被腐蚀从而影响固定层和自由层的电气隔离( Electrically Isolated)； ④工艺温度的限制，如大部分金属材料的磁性在超过200°C后会下降。
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