近年来,常压等离子清洗技术也得到迅速的发展,相对于低压等离子清洗技术,它无需使用真空泵,使得清洗过程所需的时间更短,价格更为低廉,效率更高。在大气常压等离子体清洗工艺当中,影响清洗效率的参数主要有以下几个方面:
(1)处理高度的影响: 固定等离子体处理速度,功率(不变,在不同处理高度下 对材料进行大气等离子处理,处理后测试其表面水接触角,接触角达到平衡时进行测量。经大气等离子体处理后的材料表面接触角明显减小,随着处理高度的升高,接 触角有上升的趋势,说明在速度和功率一定的情况下,高度越高,接触角越大。这是因为随着处理高度 的增大,与材料表面接触的等离子体数量减少 ,处理效果减弱。
(2)气体种类:待处理物件的基材及其表面污染物具有多样性,而不同气体放电所产生的等离子体清洗度和清洗效果又相差甚远。因此应该有针对性地选择等离子体的工作气体,如可选用氧气等离子体去除物体表面的的油脂污垢,选用氢氩混合气体等离子体去除氧化层。
(3)放电功率:放电功率增大,可以增加等离子体的密度和活性粒子能量,因而提高清洗效果。例如,氧气等离子体的密度受放电功率的影响较大。
(4)暴露时间:待清洗材料在等离子体中的暴露时间对其表面清洗效果及等离子体工作效率有很大影响。暴露时间越长清洗效果相对越好,但工作效率降低。并且,过长时间的清洗可能会对材料表面产生损伤。
(5)传动速度:对于常压等离子体清洗工艺,处理大物件时会涉及连续传动问题。因此待清洗物件与电极的相对移动速度越慢,处理效果越好,但速度过慢一方面影响工作效率,另一方面也可能造成处理时间过长产生材料表面损伤。
(6)其他:等离子体清洗工艺中的气体分配、气体流量、等参数也会影响清洗效果。因此需要根据实际情况和清洗要求设定具体的、适合的工艺参数。24427